Er:YAG激光器的組件
HR腔和轉(zhuǎn)向鏡
•反射率:AOI = 0°時R> 99.9%,隨機偏振光在AOI = 45°時R> 99.8%
•高損傷閾值(400 J / cm2,400μs)
•泵浦反射鏡,透射率在800 nm到1100 nm之間,用Nd:YAG激光器或二極管激光器進行泵浦
圖1:具有800nm1100nm之間的HT區(qū)域的HR腔鏡的反射光譜
•雙波長轉(zhuǎn)向鏡, G。 HRr(45°,2940nm)> 99.5%+ Rr(45°,630-655nm)> 95%
•光束分束器和光束組合器, G。 HRr(45°,2940nm)> 99%+ Rr(45°,630-655nm)<20%
•這些組件允許使用He-Ne激光器或635 nm - 655 nm之間的二極管激光器進行光學系統(tǒng)的對準
圖2:雙波長轉(zhuǎn)向鏡(a)和2940nm的分離器/組合器和630nm和655nm之間的導頻激光器的反射光譜(b)
輸出耦合器和透鏡
•具有調(diào)節(jié)的反射率的輸出耦合器(70%和90%之間的反射率的公差為±1%)
•AR輸出耦合器背面殘留反射率R <0.2%的AR涂層以及由藍寶石,未摻雜的YAG,CaF2或Infrasil®制成的透鏡和窗戶
圖3:R = 70%(a)和R = 84%的輸出耦合器的反射光譜(b)
圖4:藍寶石上2,94μm的AR涂層的反射光譜
其他激光器的組件約3μm
特別用于2.6-3.4μm發(fā)射光的激光器的醫(yī)療應用的基本效果是該波長范圍內(nèi)水的強烈吸收。在2.6μm和2.8μm之間,水的吸收仍然比2.94μm(Er:YAG激光器)更強,這使得激光器在該波長范圍內(nèi)工作(例如Er:Cr:YSGG激光器)有望成為未來應用的候選者。
然而,水的強烈吸收也是激光損傷嚴重的問題。因此,保持層系統(tǒng)不含水是必要的。 LAYERTEC采用磁控濺射技術(shù)生產(chǎn)3μm區(qū)域的涂層。濺射層的高原子密度接近于本體材料的原子密度抑制了水進入層系的擴散。
這使LAYERTEC能夠為關(guān)鍵的2.6 - 2.8μm區(qū)域提供涂層。圖5示出了以2.8微米為中心的反射率R> 99.7%的HR鏡子作為示例。
圖5:2.8μm的HR鏡的反射光譜,R> 99.7%
Ho:YAG和Tm:YAG激光器的組件
Ho:發(fā)射波長為2010 nm和2100 nm的YAG和Tm:YAG激光器廣泛用于醫(yī)療應用。 LAYERTEC為這種波長范圍提供光學涂層,具有高激光誘發(fā)的損傷閾值和長的使用壽命。
Mirrors
圖1:腔鏡(a)和泵鏡(b)的反射光譜,其具有在808nm附近的高透射率區(qū)域。
圖2:抑制2100nm線(a)的2010nm的腔鏡的反射光譜和2100nm的轉(zhuǎn)向鏡(b)
•HR腔,泵和轉(zhuǎn)向鏡,在AOI = 0°時R> 99.9%,對于s偏振,AOI = 45°,對于p偏振光,AOI = 45°時R> 99.8%
•高激光誘發(fā)損傷閾值
輸出耦合器和分束器
圖3:在2100nm具有R = 82%的輸出耦合器的反射光譜
光束分離器和輸出耦合器具有調(diào)節(jié)的反射率:
Reflectance | Tolerance |
|
|
R > 95% | ± 0.5% |
R = 80 ... 95 % | ± 1% |
R = 10 % ... 80% | ± 2% |
薄膜偏振器和邊緣濾光片
Figure
圖4:2010 nm薄膜偏振片的反射光譜(Rs> 99.8%,Rp <2%,AOI = 55°)(a)和用于分離2010 nm和2100 nm線(b)的陡邊濾光片 )
薄膜偏光鏡
•光的s和p偏振分量的分離(s偏振光被反射并且p偏振光被透射)
•可以為AOI> 40°生產(chǎn)TFP,但是如果使用AOI≈55°(布魯斯特角),則極化有效,出現(xiàn)在寬波長范圍
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